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华工科技最新研发的全自动碳化硅晶圆激光退火装备。晶圆退火,是半导体制造过程中的关键工序。过去,晶圆厂大多采用高温炉管、快速热退火等传统退火技术,效率不高、退火范围不可控,均匀性得不到保证,且容易使已完成的工艺受到影响。“我们一直在探索一种局域化微纳米级新型退火方案。”张摇介绍,去年9月,该项目立项,华工科技与华中科技大学机械学院联合攻关,用了不到9个月完成研发。眼前这台设备,正是通过最新的碳化硅晶圆激光退火技术,利用脉冲激光能量控制精准、瞬时脉冲能量高的特性,经激光系统整形后,辐射晶圆背侧金属,在几十到几百纳秒的时间内将晶圆表面加热到1000℃以上,使得金属与碳化硅晶圆间发生合金化反应,改善芯片电学性能。“一片晶圆普遍需要上百万次的‘整形’,才能形成高质量的晶圆。”张摇说,该设备平均单片耗时4分钟,每小时产率可达15片以上,比目前市面上同类退火设备多一倍以上,且光斑均一性高,品质更好。此外,进行晶圆背面激光退火时,要求不能影响到正面已完成工艺,这意味着晶圆背面在经历上千摄氏度高温考验的同时,另一面温度则要小于100℃。要求有多高?张摇举例,在晶圆表面被加热到上千摄氏度时,受热影响的深度不超过5微米,也就是不到一根头发丝的十分之一。“退火均匀性提升至95%以上,整机效率提高了30%,成本较进口设备降低40%。”王建刚表示,目前设备整机国产化率超过80%,其中最核心的关键单元——激光光学整形系统,由华工科技100%自主研发完成。该设备性能已达到国际先进水平,效率更是高于国际先进水平。我在现场看攻关丨生命健康产业7毫米血管一“刀”闭合湖北日报全媒记者 彭一苇 员 龚娅丽做一台外科手术,医生需要超声刀和止血器械交替使用,过程烦琐,手术时间长,而且病人有出血和感染的风险。如今,武汉半边天医疗技术发展有限公司研发了既可以切割又能止血的射频超声刀,并攻克了国产超声刀闭合7毫米血管的技术壁垒,让一台原本需要2小时的手术只用30分钟就能做完。8月22日,记者来到该公司时,“生产基地射频超声手术系统产业化”项目正在施工,研发楼内上百名研发人员全神贯注开发新产品。公司董事长邱学文的办公室里放着几个大箱子,里面是一根根约30厘米长、亮闪闪的金属杆,杆头有个小钳子。“这是为研发射频超声刀,试验时报废的样品,有上万根。”邱学文说。
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- 中新社随着中国A股中报披露期进入尾声,上市白酒公司的“期中考”成绩也逐渐明朗。
- ▲警方呼吁市民提高警惕,避免从非官方渠道下载应用程序。守网者FB
- △法国《世界报》网站报道截图“新人民阵线”是今年6月为对抗法国极右翼势力崛起而组建的。这一联盟包括极左翼政党“不屈的法兰西”、社会党、法国共产党、生态党和其他意识形态偏左的政党。其中,梅朗雄领导的“不屈的法兰西”所得议席最多,但因其立场激进,复兴党等中间派政党、共和党等中右翼政党均公开排斥与其合作。
- 4.赖育文进一步指出,差异化竞争力的重点在于把产品做好,这要求公司将经营的视角转向以消费者为中心。万和电气将从顾客视角出发,打造无缝的全体验过程,从情境产生产品需求、到哪些品牌会进入顾客的选择目录、再到最终选择什么样的品牌、用户通过哪些渠道接触和了解产品,甚至于在购买后的产品使用生活周期以及后续体验。万和希望确保每一步都能满足用户需求,甚至超越其需求。要让用户获得更好的产品使用体验,这就是万和的百年工程。
- 放眼之江大地,种粮大户呈现年轻化趋势,巾帼力量也越来越多,成为广袤田野上一道美丽风景。周丹希望通过机械化、数字化新模式,吸引更多年轻人加入现代农业队伍,让农业发展更有奔头,让农民增收更有盼头。
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别轻视胃痛等小病痛,随时是患癌警号!英国一名58岁男子常受胃痛等症状困扰,但一直以为只是身体老化的正常现象,至今年2月确诊患上胰脏癌,约3个月后病逝。胰脏癌部分症状与小病小痛相似,容易被忽略,或误以为是普通消化不良。可如何分辨?中国天气网提醒,夏秋转换之际气温起伏明显,昼夜温差也将逐渐拉大,当昼夜温差超过10℃时,小伙伴们可以尝试“洋葱式穿衣”,多层搭配,随时根据气温变化增减衣物,谨防感冒。而尚处在炎炎夏日地区的小伙伴,要继续做好防暑降温措施,避免在午后等高温时段外出活动,谨防中暑。对拟奖励名单有异议的,请于公示期内以电话、传真等方式向市人力资源社会保障局反映。反映情况须实事求是,提供具体线索或事实依据。以单位名义反映情况的材料需加盖单位公章,以个人名义反映情况的材料应署实名,并提供联系电话。
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我想我爱错了:
正值高校开学季,8月29日,南昌大学迎来2024级新生报到,预计将有1.5万余名新生陆续抵达学校,开启崭新的校园生活。当日,还有不少家长陪同子女一同前来学校。图为父亲正在为儿子擦汗。中新社记者 刘思伟 摄
一句忘記 談何容易:
top5、在车辆开往终点站的路上,李女士一直抓住男子的背包,防止他逃跑,但是当车辆到达终点站,车上乘客陆续下车,男子趁机逃跑。“他脱下背包就跑下车,连包也不要了。我马上去追,但是拉都拉不住,是司机师傅帮我去追到他的。”李女士说。
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top8、父母最怕小朋友行商店不小心弄破东西,因为尴尬之余,还随时要赔钱,如果,弄毁的是珍罕古董,那就更不敢想像了。以色列一名4岁男童因一时好奇,在海法的赫克特博物馆不慎打破一个3500 年前的青铜时代罐子,令全场傻眼,而结局却令人意外。
热情喂冷风:
▲民众近日在鹤茶楼购买手摇饮,竟喝到数只蟑螂尸体。 翻摄自脸书“爆料公社二社”
Dear(心裂):
top6、深圳市妇幼保健院福强院区产科主任秦微称:“我们医院已经为孕产妇提供了优质的医疗和护理服务,同时我们的社工部已经介入,会在能力范围尽可能提供帮助。”
独处:
top9、北京舞蹈学院院长、国家一级编剧许锐教授担任人教版义务教育艺术 舞蹈教材主编。他提到,教材编写注重舞蹈学科的专业性与普及性,突出教科书编写的创新性,强调不同舞种的体验,注重学生参与活动的主体性。